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3月31日，日本經濟產業(yè)省公布了《關于根據出口貿易管理令附表第一及外匯令附表的規(guī)定修改部分規(guī)定貨物或技術的省令等的修改概要》的文件。

根據外匯及外國貿易法(外匯法)對貨物等省令進行了修改，最新措施的重點是先進半導體制造設備，制造芯片所需的極紫外(EUV)設備也被列入其中。這23項包括：3項清洗設備、11項薄膜沉積設備、1項熱處理設備、4項光刻/曝光設備、3項刻蝕設備、1項測試設備。

日本方面在記者招待會上說該法案并非針對特定國家的限制，也不代表追隨美國政府的限制法規(guī)，但這個說法似乎得不到行業(yè)相關人士的認同。經產省雖未將特定的國家和地區(qū)指定為限制對象，但是追加的23個品種除了面向42個友好國家和地區(qū)以外，其他均需個別許可，即實際上對不包含在其中的中國的出口是極其困難的。

據悉，這項將于7月生效的出口限制可能會影響到十幾家日本公司生產的設備，例如兩家核心設備供應商尼康(Nikon)和東京電子(TEL)，前者是全球第二大DUV光刻機制造商，后者控制了全球90%的涂膠顯影設備。路透社稱，能夠制造14/16nm及以下先進芯片的蝕刻機將受到影響。

中國的半導體業(yè)界認為，經濟產業(yè)省此次強化限制，可能會比美國的半導體出口限制更大的打擊，有可能強化EUV曝光裝置等半導體制造裝置的國產化措施。

5月23日，中國商務部就日本的出口限制表示：“這是對出口管制措施的濫用，是對自由貿易和國際經貿規(guī)則的嚴重背離，中方對此堅決反對。”在日方措施公開征求意見期間，中國產業(yè)界紛紛向日本政府提交評論意見，多家行業(yè)協會公開發(fā)表聲明反對日方舉措，一些日本行業(yè)團體和企業(yè)也以各種方式表達了對未來不確定性的擔憂。但令人遺憾的是，日方公布的措施未回應業(yè)界合理訴求，將嚴重損害中日兩國企業(yè)利益，嚴重損害中日經貿合作關系，破壞全球半導體產業(yè)格局，沖擊業(yè)鏈供應鏈安全和穩(wěn)定。

日方應從維護國際經貿規(guī)則及中日經貿合作出發(fā)，立即糾正錯誤做法，避免有關舉措阻礙兩國半導體行業(yè)正常合作和發(fā)展，切實維護全球半導體產業(yè)鏈供應鏈穩(wěn)定。中方將保留采取措施的權利，堅決維護自身合法權益。

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