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2022年8月5日，真空技術(shù)行業(yè)中國(guó)主導(dǎo)制定的ISO 24477：2022《磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測(cè)量不確定度》(Vacuum technology - Vacuum gauges - Specifications , calibration and measurement uncertainties for spinning rotor gauges)正式發(fā)布實(shí)施。該標(biāo)準(zhǔn)定義了磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的相關(guān)術(shù)語(yǔ)，規(guī)定了在應(yīng)用過程中需要給定的參數(shù)和詳細(xì)的校準(zhǔn)步驟，以及需要考慮的不確定度分量。

該標(biāo)準(zhǔn)由李得天院士掛帥，中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司五院510所牽頭負(fù)責(zé)，東北大學(xué)、蘭州文理學(xué)院、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院等共同參與制定。ISO 24477：2022的發(fā)布，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)在該領(lǐng)域國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)方面“從0到1”的突破。

據(jù)了解，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)制定過程大致分為6個(gè)階段，即提案階段、準(zhǔn)備工作草案階段、技術(shù)委員會(huì)草案階段、征詢意見草案階段、批準(zhǔn)階段和印刷發(fā)行出版階段。一項(xiàng)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)從提出文稿到批準(zhǔn)為標(biāo)準(zhǔn)大致需要36個(gè)月以上。

2019年6月，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織真空技術(shù)委員會(huì)(ISO/TC112)在日本京都召開了工作年會(huì)?；?10所和李得天院士在真空測(cè)試領(lǐng)域的國(guó)際影響力，此次會(huì)議上中國(guó)爭(zhēng)取到ISO 24477國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的主導(dǎo)制定任務(wù)。經(jīng)過歷時(shí)3年的精心組織實(shí)施，先后于2019年10月提交了工作草案(WD)并正式立項(xiàng)，2020年12月通過技術(shù)委員會(huì)草案階段(CD)投票，2021年8月進(jìn)入征詢意見草案階段(DIS)，2022年3月進(jìn)入批準(zhǔn)階段(FDIS)，2022年8月進(jìn)入最終印刷發(fā)行出版階段(ISO)。此項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)在制定過程中，共有來自中國(guó)、德國(guó)、日本、美國(guó)、瑞士等計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)科研單位的幾十位專家學(xué)者參與了交流討論。團(tuán)隊(duì)針對(duì)各國(guó)專家提出的意見建議逐一進(jìn)行了答復(fù)并得到專家一致認(rèn)可。

在全球認(rèn)可和非認(rèn)可的校準(zhǔn)服務(wù)中，磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)(magnetic suspension spinning rotor vacuum gauge)被廣泛用作標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)。ISO 24477：2022標(biāo)準(zhǔn)定義了磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的相關(guān)術(shù)語(yǔ)，規(guī)定了在應(yīng)用過程中需要給定的參數(shù)和詳細(xì)的校準(zhǔn)步驟，以及需要考慮的不確定度分量。以規(guī)范如何正確校準(zhǔn)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)，以及如何用作標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)。這對(duì)于在所有應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行的真空工藝過程，尤其是對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)、光伏、鍍膜工業(yè)、航空航天、核工業(yè)等高真空應(yīng)用領(lǐng)域，能夠?qū)崿F(xiàn)真空量值溯源具有舉足輕重的意義。同時(shí)，也是對(duì)我國(guó)真空測(cè)試計(jì)量領(lǐng)域話語(yǔ)權(quán)和實(shí)力的肯定與展示。

參考來源：科技日?qǐng)?bào)

關(guān)鍵詞： 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì) 技術(shù)委員會(huì)